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JS2D-300, 스핀 현상 시스템

      

    

          자동 스윙암형 디스펜서 포함

 

• Plate Size(Max.) :  300mm diameter

         • Process step : 10 steps/ program,

• Memory Storage : 20 Programs

• Rotation Speed : 10 ~ 1500 rpm

공정순서: 산, 알칼리 스프레이 -순수 린스  - N2 스핀 드라이

현상 보울 챔버 배기; 150A

• Acceleration ratio setup, Max. 10000RPM/sec w/o load

• Run Time : 1~999sec, 0.1 단위로 입출력

디스펜서: 산 또는 알칼리 수용액 스프레이 노즐, 노즐각도(65~105) 조절

   Swing arm 타입 스프레이

 

 

     

 

 

 

 

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