Jaesung Engineering

Megasonic Mask & Glass Cleaner, GMBC-500M

반도체 및 디스플레이 산업에서 사용하는 마스크 및 글래스를 회전 브러쉬, 초음파 세척 및 순수세정에 의해서 크리닝합니다. 사용하기 편리하고, 소형이며, 견고합니다.스

핀정확도

Spin Speed Repeatability: < 0.05 %
Spin Speed Resolution: < 0.05%
Substrate Sizes (upto 500x500mm square)코터 모델 JS401은 재성엔지니어링의 기본이 되는 제품으로써, 2003년 개발된 이래, 계속 진화되고 있으며 동급사양의 외산

제공

프로그램 및 Hardware

LCD touch screen

Mask Size: 500mmx500mm or less

Chamber Material: SUS 304

Body Size/ Material: 1050Wx1250DX1800H mm/SUS

Spin Motor: AC servo Motor

Spin Rotation: Max. 2000~3000 RPM

Brush Rotation: 50~200 RPM

Rotation Controller: PLC

Brush Material: Nylon, PVA sponge

Megasonic: 1 MHz

Power Supply: AC200V

N2 source: 0.2MPa , 50L/min, Ø6 connection

Air source: 0.4MPa , 20L/min, Ø6 connection

Pure Water source: 0.2MPa, 10L/min, PT1/2 connection

Drainage: 2 lines, PVC-25A

Exhaust: 2 lines, PVC-100A