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Spin Etchers, JS2E-200 (습식 스핀에처)
포토리소그래피의 한 공정인 레지스트의 에칭(wet ching) 작업용이며, 웨이퍼 및 글래스를 에칭, 세정 및 건조합니다. 에칭액 또는 약품의 분사 시간을 입력하여 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. 사용하기 편리하고, 소형이며, 견고합니다.스스
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Reliability
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프로그램 및 Hardware
- LCD touch screen
- Wafer Size: 12" or less
- Chamber Material: PVC
- 20 process programs
- 10 steps per program (nozzle location settable)
- Moving chenical nozzle spraying evenly
- Spin Motor: AC servo Motor
- Spin Rotation: Max. 1500 RPM
- Rotation Controller: PLC
- Power Supply: AC220V
- N2 source: 0.2MPa , 50L/min, Ø6 connection
- D.I water rinsing source: 0.2MPa, 10L/min, PT 1/2 connection
- Drainage: 1 lines, PVC-25A
- Body Size/ Material: 1000Wx600DX440H mm/PVC
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