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Spin spray coating system, 모델 RoboCoat-500s            catalog


    재성엔지니어링의 자동 spin spray coating system은 고속 스핀들 및 스윙암 스프레이 노즐에 의한 최상의 균일한 코팅 조건을 제공합니다. 본 스핀스프레이 코팅 시스템은 코팅하려는 시료를 10 마이크론(ultrasonic 적용시)의 크기로 atomizing 시켜 분무하는 동시에. 시료를 저속 또는 고속으로 회전시켜 균일한 코팅 작업을 할 수 있습니다.

  • Max substrate size:   500x500 mm
  • Ultrasonic spray(or special air spray) coating:   Spray nozzle programmable parameters: Spin speed, swing arm speed, absolute position, dispensing flow rate
  • Nano spray:    Thin, uniform, defect-free coating application down to sub-micron thickness.
  • Flow pumps for spray coating:    Precise flow control 10µl/s up to 200µl/s for low viscosity resists , water soluble liquids, solar cell fluxing, fuel cell coating and carbon nano tube coating.




  • Anodized aluminum and All polished stainless 304 construction
  • HEPA filter located on the bottom of the system
  • Exhaust port
  • Optional Heated spin chuck
  • Optional UV and NIR curing
  • 1 년간 품질 보증 ( 부품 및 인력)
  • 고객에 대한 무제한 application 제공


프로그램 및 Hardware

  • 10" color LCD touch screen
  • 20 process programs
  • Spraying swing arm position settable in variable speeds and degrees
  • Spin speed; Max. 4,000 RPM
  • Swing arm moving speed:      0 - 200mm/ sec.
  • Z stroke adjustable manually
  • optional curing unit
  • Programmable logic controller (PLC) system controller
  • Standardl dispenser-Precise flow control 10µl/s up to 200µl/s for low viscosity liquids 






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