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Spin Coater JS501_400, JS501-500        catalogs  JS501-400     JS501-500     

 

   사용자에게 친숙한 디지털 방식으로 프로그램을 할 수 있는 JS501-400 모델은 고객의 중요한 실험 및 생산에서 정확도와 신뢰도를 제공합니다. 사용하기 편리하고, 소형이며, 견고한 bench top 타입의 JS501-400 spin coating system은 고성능이 필요한 고객에게 경쟁력 있는 가격으로 제공됩니다.

  • Spin Speed Repeatability: < 0.05 %
  • Spin Speed Resolution: < 0.05%
  • Substrate Sizes (Max. 370x470, 500x500 square mm )
  • OLED 증착용 FMM(Fine metal mask) 용 스핀코터 제작( 250x 970mm)
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            프로그램 및 Hardware

 

 

Reliability

  • All stainless 304 construction
  • Drain a port located in the bottom of the bowl
  • Optional Nitrogen purge for inert spin environment
  • 기본적 자동 토출장치를 4개 까지 확장 가능
  • 1 년간 품질 보증 ( 부품 및 인력)
  • 고객에 대한 무제한 application 제공

 

  • LCD touch screen
  • 20 process programs, 20 steps per program (Upgradeable with software option)
  • 0.1 second resolution for step times
  • Acceleration and deceleration settable by 0.1 second resolution(programmable ramp)
  • Spin speed 0 - 3,000 rpm (w/370x470 mm, 1T substrate)
  • Spin speed acceleration:
    • 0 - 10,000 rpm/sec unloaded
    • 0 - 2,500 rpm/sec with 500x500 mm, 1T glass
    • Optional GYRSET
  • Programmable logic controller (PLC) system controller
  • Optional simultaneous dispense capability upto 4 units: PR, EBR etc.
  • Swing arm dispenser
  • Vacuum chuck lifted up-down
  • Security: Vacuum chuck interlock
  • Standard simultaneous dispense capability expanded upto 4 units(w/ pressure tanks)

 

 

 

 

 

 

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