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Spin Coater JS401           catalogs  JS401-150     JS401-200     JS401-300

 

      사용자에게 친숙한 디지털 방식의 프로그램으로 선택적 photoresist, EBR, HMDS 또는 BSR을 선택적으로 사용할 수 있는 디스펜싱 소프트웨어를 제공합니다. 사용하기 편리하고, 소형이며, 견고한 bench top 타입의 JS401 spin coater system은 고성능이 필요한 고객에게 경쟁력 있는 가격으로 제공됩니다.

    선택사양으로써 Floor type도 제공하며,   자동 약액 공급 유닛, 헤파필터,  자동 배기 시스템 및 웨이퍼 정렬기능을 갖추고 있습니다.

 

정확도

  • Spin Speed Repeatability: < 0.05 %
  • Spin Speed Resolution: < 0.05%                                                              
  • Substrate Sizes (<1 cm - 300 mm round / 220 by 220 square)
  • 코터

    모     프로그램 및 Hardware JS401은 재성엔지니어링의 기본이 되는 제품으로써, 200

 

 

Reliability

  • All stainless polished 304 construction
  • Drain a port located in the bottom of the bowl
  • Optional Nitrogen purge for inert spin environment
  • 기본적 자동 토출장치를 4개 까지 확장 가능 (PR, EBR, HMDS, BSR or develop)
  • 1 년간 품질 보증 ( 부품 및 인력)
  • 고객에 대한 무제한 application 제공

 

  • LCD touch screen
  • 20 process programs
  • 20 steps per program (Upgradeable with software option)
  • 0.1 second resolution for step times
  • Acceleration and deceleration settable by 0.1 second resolution(programmable ramp)
  • Spin speed 0 - 6,000 rpm (10,000 rpm option)
  • Spin speed acceleration:
    • 0 - 30,000 rpm/sec unloaded
    • 0 - 23,000 rpm/sec with 100 mm SI wafer
  • Programmable logic controller (PLC) system controller
  • Max. wafer: 4"(JS401-100), 6"(JS401-150), 8"(JS401-200), 12"(JS401-300)
  • Optional manual PR dispenser, EBR and developer
  • Optional manual wafer alignment tool
  • Standard simultaneous dispense capability expanded upto 4 units(w/ pressure tanks)

      -- Photoresist, EBR, HMDS, BSR or Developing

      
  • Security: Vacuum chuck interlock
  • Optional floor type: HEPA filter, Auto damper for exhaust and wafer loading aligned
  • Optional auto dispensing unit available with swing nozzles

 

 

 

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