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Spin Coater JS301             catalog    JS301-100   JS301-150    JS301-200    

 

     사용자에게 편리한 아날로그 방식으로 프로그램을 할 수 있는 JS301 모델은 고객의 중요한 실험에서 정확도와 신뢰도를 제공합니다. 잔고장이 전혀없고, 사용이 편리하고, 소형이며, 견고한 bench top 타입의 JS301 spin coating system은 다양한 실험 및 고성능이 필요한 고객에게 경쟁력 있는 가격으로 제공됩니다.

정확도

  • Spin Speed Repeatability: < 1 %
  • Spin Speed Resolution: < 1 %
  • Substrate Sizes (<1 cm - 300 mm round / 220 by 220 square)코터 모델 JS401은 재성엔지니어링의 기본이 되는 제품으로써, 2003년 개발된 이래, 계속 진화되고 있으며 동급사양의 외산

 

 

     Reliability

  • PP and stainless 304 construction
  • 1 년간 품질 보증 ( 부품 및 인력)
  • 고객에 대한 무제한 application 제공
  •  

 

프로그램 및 Hardware

  • Digital RPM display and 3 digital timers
  • Max. wafer: 4"(JS301-100), 6"(JS301-150), 8"(JS301-200)
  • 3 steps per program
  • 1 second resolution for step times
  • Max Spin speed 4 - 6,000 rpm
  • Spin speed acceleration:
    • 0 - 10,000 rpm/sec unloaded
    • 0 - 6,000 rpm/sec with 100 mm SI wafer
  • Robust structure
  • Security: Vacuum chuck interlock

 

 

 

 

 

 

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